四川萊斯特真空科技有限公司2021年1月成立，天府新區(qū)重點(diǎn)引進(jìn)項(xiàng)目，目標(biāo)為填補(bǔ)國家高端真空泵的空白行業(yè)，主要由蘇州叁文叁電子科技有限公司與四川英杰電氣股份有限公司聯(lián)合投資成立，英杰電氣是國內(nèi)知名的工業(yè)電源研發(fā)、生產(chǎn)、銷售公司，其工業(yè)電源產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于光伏、半導(dǎo)體、化工、鋼鐵、科研院所等領(lǐng)域、蘇州叁文叁主要為半導(dǎo)體、光伏、面板等行業(yè)的設(shè)備服務(wù)商、目前已經(jīng)在成都，合肥，無錫，新加坡，馬來西亞 建立銷售售后服務(wù)點(diǎn)，并結(jié)合其在真空泵維修維護(hù)領(lǐng)域積累了超過10年的經(jīng)驗(yàn)，采用研發(fā)生產(chǎn)+銷售服務(wù)并進(jìn)的模式，利用成熟的售后服務(wù)技術(shù)體系，與客戶建立緊密的聯(lián)系，增加客戶信任；公司在天府新區(qū)成都直管區(qū)設(shè)立總部，建立新品研發(fā)、市場銷售團(tuán)隊(duì)，進(jìn)行高端真空泵原型機(jī)開發(fā)，形成國內(nèi)領(lǐng)先的真空泵生產(chǎn)能力，并達(dá)到國產(chǎn)替代進(jìn)口的目標(biāo)，同時(shí)面向國際市場服務(wù)。真空泵是真空獲得的關(guān)鍵設(shè)備，特別是近年來廣泛應(yīng)用于光伏、半導(dǎo)體及泛半導(dǎo)體行業(yè)，是現(xiàn)代精密工業(yè)生產(chǎn)中必不可少的設(shè)備之一。在國家的第十四個(gè)五年規(guī)劃和2035年遠(yuǎn)景目標(biāo)綱要的指導(dǎo)及“碳中和”“碳達(dá)峰”的目標(biāo)指引下，光伏、半導(dǎo)體及泛半導(dǎo)體行業(yè)需要不斷的實(shí)現(xiàn)的自主產(chǎn)業(yè)化生態(tài)路線，而干式真空泵在目前這些行業(yè)中的應(yīng)用絕大部分為歐美國家、日本等國的產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)設(shè)備的國產(chǎn)化，實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代進(jìn)口的目標(biāo)具有重大的意義。真空泵在光伏、半導(dǎo)體及泛半導(dǎo)體各工藝制程環(huán)節(jié)中屬于必備的通用設(shè)備。如半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈主要分為IC設(shè)計(jì)、晶圓制造和芯片封測三大環(huán)節(jié)。一般來說晶圓制造可以細(xì)分為前道和后道兩個(gè)工藝步驟。前道工藝是將硅材料加工制造成晶圓片，通過光刻機(jī)曝光等多道工序?qū)C設(shè)計(jì)圖案加載到晶圓上，制成集成電路；后道工藝是將載有集成電路的晶圓分割成基本單元，通過封裝、測試后制成最終的集成電路產(chǎn)品，半導(dǎo)體真空泵可廣泛應(yīng)用于晶圓制造過程中的單晶拉晶、LL、Etching、CVD、ALD、封裝、測試等清潔或嚴(yán)苛制程。公司目前正在尋求在高端精密鑄造、精密加工等方面的合作伙伴，共同提高真空泵產(chǎn)品的國產(chǎn)化工藝生產(chǎn)能力。
